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日本進口低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U6H 愛發(fā)科
產(chǎn)品型號：CRYO-U6H
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介： CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵，可進行高真空排??氣。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。 特征輕便小巧。我們最小的標準產(chǎn)品。 適用于實驗室的小型真空系統(tǒng)。 多臺操作（最多 3 臺） 超高真空（10-8Pa以下）

日本進口低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U6H 愛發(fā)科

抽速(20℃)氮升/秒750
氫1,100
氬氣620
水2,100
極限壓力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氬氣帕?升/秒(托?升/秒)1.1×10 3 (7.9)
氫1.1×10 2 (0.8)
泵送能力氬氣帕?升(托?升)5.6×10 7（4.2×10 5）
氫3.1×10 5 (2.3×10 3 )
冷卻時間（電源循環(huán)）小值(Hz)80/70(50/60)
安裝法蘭UVG-150,UFC-203
壓縮機組C10T,C10AT
重量公斤19


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